Вакуумная арматура

Вакуумная арматура, комплект вспомогательных, обычно типовых устройств вакуумной системы. Требования, предъявляемые к В. а.: весьма высокая герметичность всех её деталей и соединений и очень малое отделение газа с её стенок и уплотнителей. К В. а. относятся: вентили запорные и регулирующие с ручным (рис. 1), электрическим, гидравлическим или пневматическим приводом; затворы для перекрытия проходов с большим поперечным сечением, с теми же видами привода; натекатели клапанного и игольчатого типов, служащие для точного дозирования весьма малых количеств газа, или трубчатого типа, открывающие проток газа при нагревании капиллярной трубки (рис. 2); вводы электроэнергии, охлаждающей воды или жидких газов; окна смотровые для наблюдения за процессами в вакууме и для вывода различных видов излучения; некоторые виды устройств для передачи в вакуумные объёмы механического движения и др. К В. а. также причисляют механические вакуумметры (остальные их типы, ввиду многообразия и сложности, составляют самостоятельную область вакуумной техники; см. Вакуумметрия).

  Соединения В. а. низкого вакуума уплотняются прокладками из вакуумной резины, подвижные штоки — сальниковыми устройствами специальной конструкции. В системах высокого и сверхвысокого вакуума для подвижных штоков обычно применяются сильфоны, отделяющие приводной механизм от вакуумного объёма (см. рис. 1). Прокладки для В. а. сверхвысокого вакуума делают из специальных сортов термостойкой резины, некоторых видов пластмасс или из пластичных металлов.

  Лит.: Ланис В. А., Левина Л. Е., Техника вакуумных испытаний, 2 изд., М. — Л., 1963; Пипко А. И., Плисковский В. Я., ПенчкоЕ. А., Оборудование для откачки вакуумных приборов, М. — Л., 1965.

  А. В. Балицкий.

Рис. 2. Трубчатый вакуумный натекатель: 1 — капиллярная трубка; 2 — проволока; 3 — подогреватель (показана его обмотка).

Рис. 1. Схема вакуумного сильфонного вентиля с ручным управлением.